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用于光刻胶的抗反射涂料制造技术
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下载用于光刻胶的抗反射涂料的技术资料
文档序号:2749924
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本发明涉及一种抗反射涂料组合物,包括以下物质的混合物:a)由以下结构(Ⅰ)定义的聚合物,其中R↓[1]和R↓[2]独立地为氢、或C↓[1]-C↓[5]烷基,R↓[3]是甲基、乙基、丙基或丁基,R↓[4]-R↓[7]独立地为氢、或C↓[1]-...
该专利属于AZ电子材料日本株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过AZ电子材料日本株式会社授权不得商用。
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