温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明揭露一种交替式相移光罩（ＡｌｔｅｒｎａｔｉｎｇＰｈａｓｅ－ＳｈｉｆｔｉｎｇＭａｓｋ；ＡｌｔＰＳＭ）及其相对应的解除光罩（ＵｎｐａｃｋｉｎｇＭａｓｋ），以及利用构装的交替式相移光罩与解除光罩，以构装及解除（ＰａｃｋｉｎｇＡｎｄ...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。