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揭示一种微影系统中反应负荷的管理方法、系统及设备。一隔离结构被一非隔离结构支撑，此隔离结构则支撑着一移动台座。一线性马达包括第一线性马达组件及第二线性马达组件，此第一线性马达组件被连接到该移动台座上。藉由多数挠曲板而将第二线性马达组件安装在...
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