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本发明一种改善易碎基片涂胶工艺的方法，包括如下步骤：１）取待涂胶基片，进行清洗，用氮气吹干；２）制作吸气缓冲垫层；３）制作出涂胶缓冲垫层；４）将垫层放置在吸头上，再将待涂胶基片放置在垫层上；５）滴胶，旋转涂胶；６）涂胶结束后，关闭吸气真空开...
该专利属于中国科学院微电子中心所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子中心授权不得商用。

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