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本发明提供一种可以碱液显影的高光敏度的感光性树脂组合物，它是一种正型感光性树脂先质组合物，其特征在于，其中含有（ａ）结构单元间的键以通式（１）表示的结构单元为主要成分的聚合物和（ｂ）光酸发生剂，通过光照射及其后续的显影可以形成图案，上述聚合...
该专利属于东丽株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东丽株式会社授权不得商用。

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