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一种凹球面光刻刻划机，属于超微细加工技术领域中的一种对凹球面实施光刻的光刻设备。本发明要解决的技术问题是：能在凹球面上光刻纬纬相交的网栅线或经纬相交的网栅线。技术方案是：光刻刻划机形体采用支架支撑结构，由水平回转轴系统、竖轴系统、进给轴系统...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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