下载投影光学系统以及具备该投影光学系统的曝光装置的技术资料

文档序号:2749101

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一种投影光学系统,配有六个反射镜,用于在第二面上形成第一面的缩小像,其特征为:    配备第一反射成像光学系统,用以形成该第一面的中间像,及第二反射成像光学系统用以在该第二面上形成该中间像的像;且    该第一反射成像光学系统,依据该第一面...
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