下载具有垂直间隔的沟道材料区段的集成组合件及其形成方法的技术资料

文档序号:27486514

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本申请案涉及具有垂直间隔的沟道材料区段的集成组合件,以及形成集成组合件的方法。所述导电层级包含控制栅极区域及接近于所述控制栅极区域的第二区域。高k介电结构直接抵靠所述控制栅极区域,且完全横跨所述绝缘层级延伸。电荷阻挡材料邻近于所述高k介电结...
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