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一种包含以下组分的光致抗蚀剂组合物：（Ａ）一种选自以下的聚合物：（ａ）含衍生自至少一种稀键式不饱和化合物的重复单元的含氟共聚物，其特征在于至少一种烯键式不饱和化合物为多环化合物；（ｂ）含受保护酸基的支化聚合物，所述聚合物含一种或多种支化链段...
该专利属于纳幕尔杜邦公司所有，仅供学习研究参考，未经过纳幕尔杜邦公司授权不得商用。

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