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利用毛细作用力在基体上形成微型图案的方法技术
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文档序号:2748110
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在使用带有预定图案结构的模具在基体上形成微型图案的方法中,制备一个模具,该模具带有包括凹陷部分和突起部分的预定图案结构。在基体上沉积聚合物材料。然后,控制模具的突起部分与聚合物材料接触,且利用聚合物材料的毛细作用力,使与模具的突出部分接触的...
该专利属于米卢塔技术株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过米卢塔技术株式会社授权不得商用。
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