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本发明涉及一种用于把掩模（１）投影到衬底（２）上的方法，其中借助于一个照明单元（８）和一个光学单元（９）把所述掩模（１）投影到所述衬底（２）上。此外本发明还涉及一种用于执行所述方法的装置。应如下构造所述方法和装置，即用高的工作可靠性把所述掩...
该专利属于海德堡显微技术仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海德堡显微技术仪器股份有限公司授权不得商用。

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