下载曝光装置及其曝光方法、校正方法的技术资料

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一种曝光装置及其曝光方法、校正方法,在用CCD相机拍摄感光材料的校准标记之前,在可利用CCD相机的拍摄的位置配置基准板,其具有沿CCD相机的移动方向按规定间隔排列的多个检测用标记的,用配置在拍摄感光材料上所设的校准标记的位置的CCD相机拍摄...
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