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采用微光刻技术制作缩微汉字的方法，利用微光刻技术中的光刻掩模制作工艺，首先通过计算机输入汉字，再用光刻掩模制版设备将缩微汉字图案曝光到匀胶铬版上，然后经过显影、腐蚀、去胶等工艺，在铬版上形成缩微汉字图案。此技术突破了现有汉字缩微技术的极限，...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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