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一种图案形成方法，其特征在于它包括以下步骤：　　　　［１］涂敷一种感光组合物到基板材料之上以形成感光层的步骤，该感光组合物含有（ａ）碱溶性树脂、（ｂ）具有醌二叠氮基的感光剂、（ｃ）光酸产生剂、（ｄ）交联剂和（ｅ）溶剂，　　　　［２］透过掩模...
该专利属于AZ电子材料(日本)株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过AZ电子材料(日本)株式会社授权不得商用。

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