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本发明揭示一种铬光罩制造方法。一光罩基材以活化剂活化其上表面，以用于无电极铬电镀。其次，该活化光罩基材接着沉浸于无电极铬电镀溶液中，以镀上薄的铬层，此无电极铬电镀制程将一直持续到所要的厚度形成为止。较佳地，当最初的无电极电镀铬层成长至所要的...
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