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使用化学辅助回流来减小光致抗蚀剂的线缘粗糙度制造技术
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下载使用化学辅助回流来减小光致抗蚀剂的线缘粗糙度的技术资料
文档序号:2746399
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通过用塑化剂处理图形化光致抗蚀剂可以减小线缘粗糙度。塑化剂的使用可以以在显影后表面处理光致抗蚀剂的方式来进行。此后,塑化的光致抗蚀剂可以经历加热步骤来回流光致抗蚀剂。回流处理可以减小图形化的、被显影的光致抗蚀剂的线缘粗糙度。...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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