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本发明公开了一种用于激光照排的微机电加工光栅光阀阵列及其方法。光栅光阀阵列包括硅基底，在硅基底上设有二氧化硅层，在二氧化硅层上等间隔平行设有固定光栅条和可移动光栅条，可移动光栅条为中间悬空的桥梁状，可移动光栅条两端固定在二氧化硅上。方法是采...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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