下载狭缝式涂敷装置的技术资料

文档序号:2744718

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本发明公开一种狭缝式涂敷装置,其适于通过狭缝涂敷方式对平板显示器用基板进行用于照相平版印刷工艺的光致抗蚀剂等感光液的涂敷作业,大幅改善喷嘴的切口间隙调整性能,包括:工作台,其工作台面上进行对基板的感光液涂敷作业;喷嘴本体,其具有狭缝式吐出口...
该专利属于显示器生产服务株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过显示器生产服务株式会社授权不得商用。

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