专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
住友化学株式会社
>
适合于酸生成剂的盐以及含有该盐的化学放大型正性抗蚀剂组合物制造技术
>技术资料下载
下载适合于酸生成剂的盐以及含有该盐的化学放大型正性抗蚀剂组合物的技术资料
文档序号:2744672
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种式(Ⅰ)表示的盐,其中,X表示含有至少一个二价脂环族烃基的C3-C30二价基团,并且在所述C3-C30二价基团中的至少一个-CH↓[2]-可以被-O-或-CO-取代;Y表示可以被选自C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、C1-...
该专利属于住友化学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友化学株式会社授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。