下载适合于酸生成剂的盐以及含有该盐的化学放大型正性抗蚀剂组合物的技术资料

文档序号:2744672

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本发明提供一种式(Ⅰ)表示的盐,其中,X表示含有至少一个二价脂环族烃基的C3-C30二价基团,并且在所述C3-C30二价基团中的至少一个-CH↓[2]-可以被-O-或-CO-取代;Y表示可以被选自C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、C1-...
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