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本发明提供一种敏感性光罩，该光罩至少由石英层和覆盖在石英层表面的铬构成，其中，该光罩的石英层厚度大于０．５ｍｍ，且铬的厚度为８００Ａ。所述光罩的透光率为４０％至６０％。所述光罩的图形类型为线和空格相间隔。所述光罩图形中线和空格的比率为１．０...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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