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光刻胶组合物、其涂覆方法、形成图案的方法及显示器技术
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下载光刻胶组合物、其涂覆方法、形成图案的方法及显示器的技术资料
文档序号:2743834
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本文公开的是适于涂覆到大型基板上并且具有改善的涂覆均匀性以防止出现瑕疵的光刻胶组合物、其涂覆方法、用其形成有机膜图案的方法以及由此制造的显示器。本发明因而提供包含具有加入的聚硅氧烷树脂的聚合物树脂、光敏化合物和有机溶剂的光刻胶组合物。因此,...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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