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一种高量子效率图像传感器像素结构及其制作方法，该像素基于背照式工艺，对钳位光电二极管n型区结构进行优化，形成“袋状”耗尽区，延伸并覆盖硅衬底背面感光区域，扩大耗尽区面积，提高光生电子的收集效率；同时，在钳位光电二极管p+型钳位层上方引入金属...
该专利属于天津大学青岛海洋技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学青岛海洋技术研究院授权不得商用。

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