专利查询
首页
专利评估
登录
注册
当前位置:
首页
>
专利查询
>
电子科技大学
>
一种在旋涂法中提高所制备薄膜厚度的方法技术
>技术资料下载
下载一种在旋涂法中提高所制备薄膜厚度的方法的技术资料
文档序号:2743361
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种在旋涂法中提高所制备薄膜厚度的方法,系在镀膜基板上利用旋涂光刻胶或粘贴胶带的方法设置凸起的台阶,台阶的高度为5-500μm,形成闭合的边框,在边框围成的区域内滴加溶液利用旋涂法制备薄膜。采用该方法可以大幅度地提高每次旋涂薄膜...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
详细技术文档下载地址
温馨提示:您尚未登录,请点
登陆
后下载,如果您还没有账户请点
注册
,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。