下载一种在旋涂法中提高所制备薄膜厚度的方法的技术资料

文档序号:2743361

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本发明公开了一种在旋涂法中提高所制备薄膜厚度的方法,系在镀膜基板上利用旋涂光刻胶或粘贴胶带的方法设置凸起的台阶,台阶的高度为5-500μm,形成闭合的边框,在边框围成的区域内滴加溶液利用旋涂法制备薄膜。采用该方法可以大幅度地提高每次旋涂薄膜...
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