下载描绘系统、描绘装置及描绘方法的技术资料

文档序号:2743359

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本发明提供一种描绘系统、描绘装置及描绘方法,其能够在多台描绘装置或多个描绘处理部中,使用来自一个光源的光同时进行描绘处理和其它处理,能够提高激光的工作率和基板的制造效率。描绘系统(100)将从激光振荡器(110)射出的脉冲光分割为主脉冲光和...
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