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本发明涉及一种光阻回收系统。现有的光阻供应系统存在光阻浪费、没有充分利用的问题。本发明的光阻回收系统，包括一个存储容器，用于存储光阻；一个中间箱，用于从存储光阻容器接收光阻，并具有一个从中间箱排放光阻的排放管；一个过滤器，用于从中间箱接收光...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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