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一种具有大行程调节功能的调平调焦机构，包含小行程调平调焦机构和设置在该小行程调平调焦机构下部的大行程调节机构，Ｚ向大行程由独立的楔形块机构实现，Ｚ向微量调节由楔形块机构驱动，簧片导向来实现。本发明提供的一种具有大行程调节功能的调平调焦机构，...该专利属于上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司授权不得商用。