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本发明涉及用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在所述纳米压印光刻法中，该石英玻璃在０℃和２５０℃之间具有－３００～３００ｐｐｂ／℃的ＣＴＥ和２５℃下最高为１００ｐｐｂ／℃的ＣＴＥ分布，适合用作纳米压印模具。...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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