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本发明提供一种应用于Ｈ型驱动结构中的定位控制方法及其装置，采用Ｘ向直线电机实现Ｘ轴的运动，采用Ｙ１Ｙ２双直线电机来实现Ｙ轴的运动，通过Ｙ１，Ｙ２两个电机的交叉耦合来实现减小相对位置误差的控制，Ｘ轴与Ｙ轴的交叉耦合来实现减小轮廓误差的控制对三...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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