温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种调焦调平探测装置及方法，装置的测量光路在投影物镜光轴的两侧，由照明、投影、成像及探测诸单元组成，特点是对应一个光斑的探测狭缝阵列的多个探测狭缝，其中的一个探测狭缝用于精测，其他的狭缝用于粗测；由多个探测狭缝和多个探测器根据它们的一一对应...
该专利属于上海微电子装备有限公司;华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司;华中科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。