下载光罩修补液的技术资料

文档序号:2743274

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本发明公开一种光罩修补液,该修补液由金溶液和甲苯混合配比而成,且金溶液∶甲苯的配比比例配比比例在1∶0.23-0.5(质量)之间。本发明使修补点的可靠性得到了提升,保证了使用效率,提升了修补质量,不受丙酮、酸、碱等化学物质的影响,消除了品质...
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