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本发明公开了一种控制ＣＴＰ系统曝光成像质量的自动调焦装置。它包括ＰＳＤ探测器、格兰－泰勒棱镜、四分之一波长波片、介质反射镜、聚焦透镜、音圈马达、贴有印版的滚筒，介质反射镜对进行曝光工作激光反射，对进行聚焦探测激光透射，探测激光经格兰－泰勒棱...
该专利属于中国计量学院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量学院授权不得商用。

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