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本发明提供了一种基于空间光调制器的光刻照明装置及照明方法，采用ＳＬＭ（液晶空间光调制器）来衍射产生各种照明光瞳形貌。每个像素对光波相位的调制可通过寻址电压来进行控制，并且具有可编程控制的特点，可以利用优化算法，优化设计ＳＬＭ的相位值来产生任...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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