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本发明提供一种照明光学系、曝光装置、及器件制造方法。该照明光学系使用来自光源的光照明被照明面，其中：在从光源到被照明面的光路中具有用于调整光的偏振光比的偏振光元件，而且，配置在从偏振光元件到被照明面的光路中的光学元件满足以下的式子：ｍ＋２σ...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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