下载光束变换元件、光学照明装置、曝光装置、以及曝光方法的技术资料

文档序号:2743109

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本发明提供一种光学照明装置,不仅能有效地抑制光量损失,且能够形成圆周方向偏光状态的轮胎状的照明瞳分布。本发明的光学照明装置具有光束变换元件(50),可依据入射光束而在所定面形成轮胎状的光强度分布。该光束变换元件用有旋光性的光学材料形成,且由...
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