下载一种靶材冷却背板的焊接方法的技术资料

文档序号:27417806

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本发明涉及一种靶材冷却背板的焊接方法,所述焊接方法包括如下步骤:(1)将盖板和基座进行机加工,机加工后的基座包括冷却水道;(2)将步骤(1)机加工得到的盖板与所述冷却水道相接触,进行所述盖板与所述基座的装配处理,然后进行真空钎焊,得到靶材冷...
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