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一种无掩膜光刻设备和无掩膜光刻方法技术
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文档序号:27417287
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本申请适用于无掩膜光刻技术领域,提供了一种无掩膜光刻设备和无掩膜光刻方法,无掩膜光刻设备包括用于产生面阵光的照明装置、设置于照明装置发出的面阵光的光路上的数字微镜器件、用于承载待加工的基板的载物台组件、设置于载物台组件和数字微镜器件之间的投...
该专利属于广东思沃激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东思沃激光科技有限公司授权不得商用。
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