下载一种无掩膜光刻设备和无掩膜光刻方法的技术资料

文档序号:27417287

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请适用于无掩膜光刻技术领域,提供了一种无掩膜光刻设备和无掩膜光刻方法,无掩膜光刻设备包括用于产生面阵光的照明装置、设置于照明装置发出的面阵光的光路上的数字微镜器件、用于承载待加工的基板的载物台组件、设置于载物台组件和数字微镜器件之间的投...
该专利属于广东思沃激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东思沃激光科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。