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蚀刻速率及其它性能改进的抗反射涂料组合物由某些高分子量聚合物和共聚物，特别是甲基丙烯酸缩水甘油酯制备。...
该专利属于伯韦尔科学公司所有，仅供学习研究参考，未经过伯韦尔科学公司授权不得商用。

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