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对光刻工具进行焦点中心的判断及过程控制的方法。从位于多个不同焦点设置场域内的多个衍射结构获得衍射特征。通过直接分析或与数据库对比来确定各场域的衍射特征的可变性。可变性或均匀性可由任何测量值表示，包括理论衍射结构的数据库的被选择特征的标准偏差...
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