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本实用新型公开了半导体制造领域内的一种机台维修晶圆防护专用治具，包括机台，机台呈圆形，机台的中部设置有圆形晶圆容纳槽，机台表面设置有环形凹槽，机台表面经环形凹槽分隔为内盘体和外盘体，与所述机台相对应地设置有遮挡盖，所述遮挡盖呈圆形，遮挡盖的...
该专利属于江苏汇成光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏汇成光电有限公司授权不得商用。

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