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本发明涉及半导体生产技术领域，提供了一种半导体温控装置及方法。该半导体温控装置，包括第一热交换器、第二热交换器、第三热交换器、第一温度传感器、第二温度传感器、第三温度传感器、加热桶和缓冲箱。本发明结构简单、易于维修、成本低廉、大小负载均可使...
该专利属于北京京仪自动化装备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术有限公司授权不得商用。

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