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PECVD设备无载板硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室涉及太阳能电池设备技术领域，尤其涉及用于制造异质结太阳能电池的PECVD设备无载板硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室。本实用新型提供一种不需要使用载板，成本低廉，提高产能的P...
该专利属于营口金辰机械股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过营口金辰机械股份有限公司授权不得商用。

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