下载图像曝光方法和装置的技术资料

文档序号:2731955

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本发明提供图像曝光装置以及使用该图像曝光装置的曝光方法。所述方法,在具备分别调制被照射光的多个像素部以二维排列而成的DMD等空间光调制元件(50)、照射这种空间光调制元件(50)的光源(66)、由分别将来自空间光调制元件(50)的各像素部的...
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