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本发明涉及一种反应槽内晶圆组分离装置，包括由下至上依次布置在立柱直线运动单元上的晶圆组运动平台、载具运动平台、晶圆组夹持单元、晶圆组导向单元，凸轮连杆组、平台联动锁定单元安装于立柱直线运动单元两侧，晶圆组运动平台、载具运动平台分别与凸轮连杆...
该专利属于冠礼控制科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过冠礼控制科技（上海）有限公司授权不得商用。

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