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本发明涉及多重图形亚分辨率辅助图形添加方法，相比于传统条状的SRAF，添加环状SRAF，SRAF更加连续，且部分第一掩模版环状SRAF和部分第二掩模环状SRAF宽度可以进一步扩大，能够大大增加第一掩模版目标层和第二掩模版目标层周围透光量，而...
该专利属于上海华力集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力集成电路制造有限公司授权不得商用。

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