温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体加工设备技术领域，且公开了一种可避免杂质混入晶体内的智能制造用半导体加工装置，包括活动盘，所述活动盘的底侧贯穿有连接筒，连接筒的内侧壁中贯穿有活动圈，活动圈的外侧壁中贯穿连接筒的侧壁活动连接有活动块，连接筒的外侧壁贯穿有活动...
该专利属于凌鹰文案策划（温州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过凌鹰文案策划（温州）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。