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本发明涉及真空镀膜系统领域，公开了一种高通量电子束组合材料蒸发系统及其方法。该高通量电子束组合材料蒸发系统包括：真空腔体，所述真空腔体设置为真空；电子束蒸发装置，设置于所述真空腔体下部；基片托架，设置于所述真空腔体上部，用于放置基片；连续掩...
该专利属于宁波星河材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波星河材料科技有限公司授权不得商用。

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