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本发明公开一种MEMS皮拉尼计及其制作方法、MEMS传感器及电子设备。其中，所述MEMS皮拉尼计包括：基底；绝缘隔热层，所述绝缘隔热层设于所述基底的一表面；以及金属发热体，所述金属发热体设于所述绝缘隔热层背向所述基底的表面。本发明的技术方案...
该专利属于歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔微电子有限公司授权不得商用。

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