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包括掩埋式光波导和输出耦合器的光学器件制造技术
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下载包括掩埋式光波导和输出耦合器的光学器件的技术资料
文档序号:27266625
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本公开的实施例针对用于光耦合器的技术和构造,该光耦合器包括用于将光导引至光纤的光波导。在实施例中,光波导包括锥形段,以将所接收的光传播到光纤。在实施例中,锥形段被掩埋在半导体衬底的表面下方,以将半导体衬底内的所接收的光从第一光模式转变为第二...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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