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曝光装置以及高度调整方法制造方法及图纸
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下载曝光装置以及高度调整方法的技术资料
文档序号:27261701
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能够准确地进行光照射部的高度调整。驱动旋转驱动部而使小齿轮(161b)旋转,从而使设置有与小齿轮(161b)啮合的齿条(161a)的支承部(15a)沿高度方向移动。另外,在具有永久磁铁和电磁铁的永久电磁铁(163)所具有的电磁铁的线圈流通电...
该专利属于株式会社V技术所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社V技术授权不得商用。
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