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文档序号:27232022

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一种半导体装置,包括:第一堆叠件组,其具有交替且重复地堆叠在衬底上的第一层间绝缘层和第一栅极层;以及第二堆叠件组,其包括交替且重复地堆叠在第一堆叠件组上的第二层间绝缘层和第二栅极层。分离结构穿过第一堆叠件组和第二堆叠件组,并包括第一分离区域...
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